หลักการควบคุมแรงดันของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ

1. การแนะนำพื้นหลัง
อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศเป็นอุปกรณ์ชนิดหนึ่งที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตอุตสาหกรรม ฟังก์ชั่นหลักของมันคือการวางวัสดุที่ต้องเคลือบลงในห้องเคลือบสูญญากาศและผ่านปฏิกิริยาภายใต้อุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงชั้นฟิล์มจะถูกสะสมอย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวของวัสดุ และสร้างเลเยอร์การเคลือบบางอย่างที่มีฟังก์ชั่นและลักษณะพิเศษ ในหมู่พวกเขาระดับสูญญากาศและอัตราการยึดเกาะในอุปกรณ์เป็นตัวชี้วัดที่สำคัญที่มีผลต่อคุณภาพของชั้นการเคลือบและความเสถียรของระดับสูญญากาศขึ้นอยู่กับการควบคุมความดันในอุปกรณ์
2. หลักการควบคุมแรงดันของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ
1. คำจำกัดความของระดับสูญญากาศ
ก่อนที่จะแนะนำหลักการของการควบคุมความดันจำเป็นต้องแนะนำว่าสูญญากาศคืออะไร ในวิชาฟิสิกส์สูญญากาศหมายถึงสภาพแวดล้อมของก๊าซที่มีแรงดันน้อยกว่าความดันบรรยากาศดังนั้นระดับของสูญญากาศหมายถึงความดันก๊าซในพื้นที่บางแห่ง โดยทั่วไปสุญญากาศมักจะวัดในปาสคอล (PA) หรือแถบเมตร (MBAR) ในอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศช่วงสูญญากาศปกติคือ 10^-6pa ~ 10^-2pa
2. หลักการควบคุมความดัน
เมื่อสูญญากาศสูงเกินไปหรือต่ำเกินไปมันจะส่งผลต่อการทำงานปกติของอุปกรณ์ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องควบคุมระดับสูญญากาศในอุปกรณ์ด้วยวิธีการบางอย่าง ในหมู่พวกเขาการควบคุมความดันเป็นวิธีการควบคุมที่ค่อนข้างง่ายและมีประสิทธิภาพ โดยเฉพาะหลักการของการควบคุมความดันคือการใช้ตัวควบคุมความดันเพื่อควบคุมอัตราการไหลของก๊าซในอุปกรณ์โดยการตรวจจับความดันของปลายควบคุมและจากนั้นผ่านกลไกการตอบกลับโดยการควบคุมการเปิดวาล์วเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ในการควบคุมความดัน
3. องค์ประกอบพื้นฐานของตัวควบคุมความดัน
ในอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศโดยทั่วไปจะใช้ตัวควบคุมความดันเพื่อควบคุมแรงดัน องค์ประกอบพื้นฐานของมันประกอบด้วยสี่ส่วน: เซ็นเซอร์ตรวจจับ, คอนโทรลเลอร์, แอคทูเอเตอร์และระบบควบคุม
เซ็นเซอร์ตรวจจับ: ส่วนใหญ่จะใช้ในการตรวจจับการเปลี่ยนแปลงความดันของปลายควบคุมและแปลงเป็นเอาต์พุตสัญญาณไฟฟ้าที่สอดคล้องกันสำหรับการใช้งานโดยคอนโทรลเลอร์
คอนโทรลเลอร์: ส่วนใหญ่จะได้รับสัญญาณไฟฟ้าส่งออกโดยเซ็นเซอร์กระบวนการและวิเคราะห์จากนั้นฟีดผลการวิเคราะห์กลับไปที่แอคทูเอเตอร์เพื่อควบคุมระดับการเปิดของแอคทูเอเตอร์
แอคชูเอเตอร์: ส่วนใหญ่ควบคุมอัตราการไหลของก๊าซในอุปกรณ์โดยการควบคุมระดับการเปิดของวาล์วเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ในการควบคุมความดัน
ระบบควบคุม: ส่วนใหญ่จะใช้ในการตรวจสอบและควบคุมตัวชี้วัดต่าง ๆ ในอุปกรณ์เช่นอุณหภูมิระดับสูญญากาศ ฯลฯ และสร้างกลยุทธ์การควบคุม
3. สรุป
โดยสรุปหลักการควบคุมความดันในอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศคือการควบคุมความดันในอุปกรณ์ผ่านกลไกการตอบรับที่ค่อนข้างง่ายและมีประสิทธิภาพ ในการสร้างระบบควบคุมที่มีเสถียรภาพนั้นจำเป็นต้องได้รับการสนับสนุนทางเทคนิคในแง่มุมต่าง ๆ ของระบบควบคุมอุปกรณ์เช่นการตรวจสอบพารามิเตอร์อัลกอริทึมการควบคุมการควบคุมแอคทูเอเตอร์การเชื่อมโยงระบบ ฯลฯ ปัจจัยทางเทคนิคเหล่านี้ต้องการความร่วมมือของบุคลากรระดับมืออาชีพและเทคนิคบางอย่างเพื่อให้แน่ใจว่าอุปกรณ์สามารถแสดงประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมมากขึ้น