ทำความเข้าใจว่ากระบวนการเคลือบสูญญากาศเป็นอย่างไร

การเคลือบสูญญากาศเป็นกระบวนการที่ใช้ในการผลิตวัสดุฟิล์มบางคุณภาพสูง มันผลิตฟิล์มบาง ๆ โดยการระเหยด้วยความร้อนหรือการฉีดวัสดุอินทรีย์หรืออนินทรีย์บนพื้นผิวของสารตั้งต้นภายใต้สภาวะสูญญากาศ บทความนี้จะแนะนำการใช้งานการเคลือบสูญญากาศโดยละเอียด

กระบวนการเคลือบสูญญากาศรวมถึงขั้นตอนต่อไปนี้:

1. เลือกวัสดุพิมพ์ที่เหมาะสมและวัสดุ

การเลือกวัสดุพิมพ์ที่เหมาะสมและวัสดุเป็นขั้นตอนแรกในการเคลือบสูญญากาศ สารตั้งต้นสามารถเป็นแก้วพลาสติกโลหะหรือวัสดุนาโนอื่น ๆ วัสดุสามารถเป็นอินทรีย์หรืออนินทรีย์เช่นโลหะเซมิคอนดักเตอร์ออกไซด์หรือไนไตรด์

2. โหลดระบบเคลือบสูญญากาศ

ขั้นตอนที่สองคือการโหลดสารตั้งต้นและวัสดุลงในระบบเคลือบสูญญากาศ ระบบการเคลือบสูญญากาศรวมถึงห้องสูญญากาศเครื่องระเหยโลหะเครื่องสปัตเตอร์และระบบควบคุม ห้องสูญญากาศเป็นพื้นที่ปิดที่ใช้ในการรักษาสภาพแวดล้อมสูญญากาศเครื่องระเหยโลหะและสปัตเตอร์เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการระเหยหรือสปัตเตอร์วัสดุลงบนพื้นผิวและระบบควบคุมใช้ในการตรวจสอบและปรับสภาพแวดล้อมสูญญากาศและการระเหยของวัสดุหรือความเร็วในการสปัตเตอร์

3. สูญญากาศ

หลังจากโหลดวัสดุและสารตั้งต้นห้องสูญญากาศควรอพยพออกไป การดูดฝุ่นเป็นขั้นตอนที่สำคัญมากเนื่องจากการรักษาความดันต่ำและสภาพแวดล้อมที่มีความบริสุทธิ์สูงสามารถรับประกันคุณภาพของเมมเบรน สภาพแวดล้อมสูญญากาศมักจะต่ำกว่า 10^-6 mbar เพื่อแยกโมเลกุลของก๊าซและมลพิษอื่น ๆ

4. การระเหยของวัสดุหรือสปัตเตอร์

เมื่อสภาพแวดล้อมสูญญากาศมาถึงแรงดันที่ต้องการวัสดุสามารถระเหยหรือสปัตเตอร์ลงบนพื้นผิว มีสองวิธีในการระเหยของวัสดุ: การระเหยด้วยความร้อนและการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอน การสปัตเตอร์ยังมีสองวิธี: Magnetron Sputtering และ ARC Sputtering ไม่ว่าจะใช้วิธีใดก็ตามการระเหยของวัสดุหรืออัตราการสปัตเตอร์และความหนาของฟิล์มจะต้องมีการควบคุม

5. สร้างภาพยนตร์หลายชั้น

เมื่อมีการประดิษฐ์เมมเบรนชั้นเดียวแล้วหลายชั้นสามารถเรียงซ้อนกันเพื่อสร้างคอมโพสิต สามารถใช้วัสดุและกระบวนการสะสมที่แตกต่างกันเช่นการทับถมแบบสลับกันวัสดุหลายชนิดร่วมกันและการสะสมของ Zoned

6. ทดสอบคุณภาพเมมเบรน

ขั้นตอนสุดท้ายคือการทดสอบคุณภาพของเมมเบรน การทดสอบอาจรวมถึงความหนาคุณสมบัติทางกายภาพคุณสมบัติทางแสงและคุณสมบัติทางไฟฟ้า ตรวจสอบว่าวัสดุเมมเบรนตรงตามข้อกำหนดตามผลการทดสอบหรือไม่

ในระยะสั้นเทคโนโลยีการเคลือบสูญญากาศเป็นวิธีการที่จะได้ฟิล์มบางคุณภาพสูง จำเป็นต้องเลือกพื้นผิวและวัสดุที่เหมาะสมโหลดระบบการเคลือบสูญญากาศสูญญากาศวัสดุระเหยหรือสปัตเตอร์ทำฟิล์มหลายชั้นและทดสอบคุณภาพของฟิล์ม เทคโนโลยีการเคลือบสูญญากาศถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านอิเล็กทรอนิกส์, เลนส์, การแพทย์และสาขาพลังงาน